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真空系統的簡單介紹及部分名詞

          真空系統其實就是真空機組的一個類似的稱呼,真空機組是由幾種真空泵組合而成的一套閉環真空設備,它不見得有一些諸如散熱器,冷凝器等等設備存在。而一般能稱為真空系統是各部件全。真空應用設備種類繁多,但無論何種真空應用設備都有一套排查被抽容器內氣體的抽氣系統,以便在真空容器內獲得所需要的真空條件。舉例來說:一個真空處理用的容器,用管道和閥門將它與真空泵連接起來,當真空泵對容器進行抽空時,容器上要有真空測量裝置,這就構成了一個簡單的真空抽氣系統。那么真空系統相比較于機組來說有多少泵組成呢?我們先來認識一下可能存在的泵的名詞解釋。
          主泵:在真空系統中,用于獲得所需要真空度來符合特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。
          粗抽泵:從空氣壓下開始抽氣,并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗油泵。
          維持泵:在真空系統中,氣量很小時,不能利用前泵。為此配置一種容量較小的泵來維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵,就是維持泵。
          簡單的真空系統只是能獲得一個粗真空,而想要獲得高真空時,通常在真空系統中串聯一個高真空泵,比如羅茨泵和螺桿泵等都是獲得高真空的泵。當串聯一個高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門,以便高真空泵能單獨保持真空。認為如果所串聯的高真空泵是一個油擴散泵,為了不讓大量的油蒸氣返流進入被抽容器,通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板。根據要求,還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥,散熱器等等,這樣就構成了一個較完善的高真空系統。
2020/07/22 11:14:11 45 次

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